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HfO2和Al2O3混合原子层沉积反应机理的密度泛函理论研究

时间:2022-12-14 09:44:03 其他范文 收藏本文 下载本文

以下是小编为大家整理的HfO2和Al2O3混合原子层沉积反应机理的密度泛函理论研究,本文共6篇,欢迎阅读与收藏。

HfO2和Al2O3混合原子层沉积反应机理的密度泛函理论研究

篇1:HfO2和Al2O3混合原子层沉积反应机理的密度泛函理论研究

HfO2和Al2O3混合原子层沉积反应机理的密度泛函理论研究

密度泛函理论研究了用HfCl4和AI(CH3)3作为前体,HfO2和Al2O3在硅表面的原子层沉积的机理,其包括2个沉积半反应:(1)HfCl4和Al-OH*的`表面反应;(2)Al(CH3)3和Hf-OH*的表面反应.计算结果表明,2个半反应过程机理相似,内禀反应坐标研究也表明2个半反应经历了相似的过渡态和副产物的消除路径.另外,升高反应温度,反应(1)中间体的解吸附作用增强,而活化能降低,反应(2)活化能基本不变.

作 者:周广芬 崔永琴 于战海 任杰 ZHOU Guang-fen CUI Yong-qin YU Zhan-hai REN Jie  作者单位:周广芬,任杰,ZHOU Guang-fen,REN Jie(河北科技大学理学院,河北石家庄,050018)

崔永琴,CUI Yong-qin(张家口市环境监测站,河北张家口,075000)

于战海,YU Zhan-hai(宣化钢铁集团有限责任公司,河北宣化,075100)

刊 名:河北科技大学学报  ISTIC PKU英文刊名:JOURNAL OF HEBEI UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY 年,卷(期): 29(2) 分类号:O641 关键词:密度泛函理论   介质氧化物   原子层沉积  

篇2:CeO-2(110)表面上CO氧化反应的密度泛函理论研究

CeO-2(110)表面上CO氧化反应的密度泛函理论研究

利用密度泛函理论系统研究了O_2与CO在CeO_2(110)表面的吸附反应行为.研究表明,O_2在清洁的'CeO_2(110)表面吸附热力学不利,而在氧空位表面为强化学吸附,O_2分子被活化,可能是重要的氧化反应物种.CO在清洁的CeO_2(110)表面有化学吸附与物理吸附两种构型,前者形成二齿碳酸盐物种,后者与表面仅存在弱相互作用.在氧空位表面,CO可分子吸附或形成碳酸盐物种,相应吸附能均较低.当表面氧空位吸附O_2后(O_2/O_v),CO可吸附生成碳酸盐或直接生成CO_2,与原位红外光谱结果相一致.过渡态计算发现,O_2/O_v/CeO_2(110)表面的三齿碳酸盐物种经两齿、单齿过渡态脱附生成CO_2.利用扩展休克尔分子轨道理论分析了典型吸附构型的电子结构,说明表面碳酸盐物种三个氧原子电子存在离域作用,物理吸附的CO及生成的CO_2电子结构与相应自由分子相似.

作 者:滕波涛 蒋仕宇 郭晓伟 袁金焕 罗孟飞 Teng,Botao Jiang,Shiyu Guo,Xiaowei Yuan,Jinhuan Luo,Mengfei  作者单位:浙江师范大学物理化学研究所,浙江省固体表面重点实验室,金华,321004 刊 名:化学学报  ISTIC SCI PKU英文刊名:ACTA CHIMICA SINICA 年,卷(期): 67(24) 分类号:O6 关键词:CO氧化   CeO_2(110)表面   密度泛函理论   扩展休克尔分子轨道理论   CO oxidation   CeO_2(110) surface   density functional theory   extended Hückel molecular orbital theory  

篇3:黄酮类化合物的密度泛函理论研究

黄酮类化合物的密度泛函理论研究

在混合密度泛函B3LYP理论下,用6-31G*基函数研究了几种典型黄酮类化合物分子的几何结构、电子结构和分子的静电势,讨论了电子结构和分子活性部位的关系.

作 者:吕振波 庄丽宏 田彦文 王东来 LU Zhen-bo ZHUANG Li-hong TIAN Yan-wen WANG Dong-lai  作者单位:吕振波,LU Zhen-bo(辽宁石油化工大学分析测试研究中心,辽宁,抚顺,113001)

庄丽宏,田彦文,王东来,ZHUANG Li-hong,TIAN Yan-wen,WANG Dong-lai(东北大学材料与冶金学院,辽宁,沈阳,110004)

刊 名:分子科学学报  ISTIC PKU英文刊名:JOURNAL OF MOLECULAR SCIENCE 年,卷(期): 23(5) 分类号:O641 关键词:密度泛函理论   分子结构   黄酮类化合物  

篇4:SrZrO3晶格动力学的密度泛函理论研究

SrZrO3晶格动力学的密度泛函理论研究

采用密度泛函理论对立方相SrZrO3的晶格动力学进行了研究.计算结果表明,最不稳定的.R25软模的冻结导致体系进入反铁畸变四方结构(L4/mcm),计算结果与实验一致.原子间力常数计算结果表明,Sr-O原子对之间的长程特性对体系的结构不稳定性负责.

作 者:谢颖 付宏刚 于海涛 Xie Ying Fu Hong-gang Yu Hai-tao  作者单位:谢颖,付宏刚,Xie Ying,Fu Hong-gang(哈尔滨工业大学,应用化学系,哈尔滨,150001)

于海涛,Yu Hai-tao(黑龙江大学,化学化工与材料学院,哈尔滨,150080)

刊 名:黑龙江大学自然科学学报  ISTIC PKU英文刊名:JOURNAL OF NATURAL SCIENCE OF HEILONGJIANG UNIVERSITY 年,卷(期):2007 24(6) 分类号:O641.12 TB34 关键词:锆酸锶   晶格动力学   密度泛函理论   反铁畸变相变A  

篇5:C4O7团簇的密度泛函理论研究

C4O7团簇的密度泛函理论研究

利用理论计算方法设计高能量密度材料(HEDM)分子是目前材料科学领域的研究热点之一.本文利用密度泛函理论(DVT)在B3LYP/6-31G(d)水平上对C4O7团簇异构体几何结构进行优化,找到了C4O7团簇的27种稳定结构.以一个C4O7团簇分子分解为3个CO2和一个CO计算,C4O7团簇分子的.解离能在7.312×103~2.958×103 kJ/kg之间,放出的能量较多,是用做高能量密度材料的潜在资源.

作 者:王捷 杨和亭 史祥燕 张丽鹏 WANG Jie YANG He-ting SHI Xiang-yan ZHANG Li-peng  作者单位:王捷,张丽鹏,WANG Jie,ZHANG Li-peng(山东理工大学化学工程学院,淄博,255049)

杨和亭,YANG He-ting(山东经济学院学生处,济南,250014)

史祥燕,SHI Xiang-yan(山东大学环境研究院,济南,250100)

刊 名:硅酸盐通报  ISTIC PKU英文刊名:BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY 年,卷(期): 26(6) 分类号:O641 关键词:C4O7团簇   B3LYP/6-31G(d)   密度泛函理论   高能密度材料  

篇6:5-硝基-1-氢-四唑分子热分解反应机理的密度泛函理论研究

5-硝基-1-氢-四唑分子热分解反应机理的密度泛函理论研究

利用密度泛函理论研究了5-硝基-1-氢-四唑分子热分解的反应机理.首先用B3LYP/6-31G(d)方法优化反应中反应物、过渡态、中间体以及产物的几何构型,通过振动分析得到零点能校正值并确认反应的`过渡态.此外,对各个构型作了CCSD(T)/6-31G(d,p)水平下的单点计算.报道了三条可能的反应途径,即直接开环途径和质子转移途径:其中N(1)-N(2)键断裂直接开环的机理与文献报道一致;而涉及质子转移的反应途径则是一个新的发现;另一条关于N(4)-C(5)键断裂直接开环的途径由于能垒较高,因此发生的几率较小.

作 者:汪敬 顾健德 田安民  作者单位:汪敬,田安民(四川大学化学学院,成都,610064)

顾健德(中国科学院上海药物研究所,上海,200031)

刊 名:化学学报  ISTIC SCI PKU英文刊名:ACTA CHIMICA SINICA 年,卷(期):2002 60(4) 分类号:O6 关键词:5-硝基-1-氢-四唑,密度泛函理论(DFT),热分解反应  

SrZrO3晶格动力学的密度泛函理论研究

4种菁染料化合物结构和性能的密度泛函理论研究

Nam Si7-m(m≤6)团簇的结构和电子性质的密度泛函理论研究

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